近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所（以下简称微系统所）硅基材料与集成器件实验室研究员蔡艳、欧欣合作，利用上海微技术工业研究院标准180 nm硅光工艺在八英寸 SOI上制备了硅光芯片，再基于“离子刀”异质集成技术，通过直接键合的方式将铌酸锂与SOI晶圆实现异质集成，并通过干法刻蚀技术实现了硅光芯片波导与LN电光调制器的单片式混合集成，制备出通讯波段MZI型硅基铌酸锂高速电光调制器。相关研究成果将在2024年美国激光及光电子学会议（CLEO）上进行口头报告。
得益于优良的材料质量和器件制备技术，器件在10 Hz至1 MHz频率范围内的三角波电压信号下的调制效率稳定，在测量频率范围内器件保持稳定的VpiL值。同时，器件具备较好的低直流漂移特性，证明薄膜铌酸锂材料和氧化硅包层的沉积质量较好，缺陷较少。调制器的光眼图测试结果显示，在NRZ调制信号下传输速率达到88 Gbit/s, PAM-4调制信号下传输速率达到176 Gbit/s。
通过“离子刀”异质集成技术实现大尺寸晶圆级硅基铌酸锂异质集成材料与芯片 图片来源于微系统所
据了解，通过“万能离子刀”技术，铌酸锂薄膜可与硅光芯片实现大面积低缺陷密度的集成，两者结合展现出优良的电光调制性能。微系统所异质集成XOI团队目前已验证该工艺路线进一步扩展至八英寸的可行性，未来可实现大规模的商业化制备。
一种使用深度学习方法设计出来的新蛋白质。图片来源：华盛顿大学医学院蛋白质设计研究所 美国科学家借助机器学习 12月18日，2023年度国家自然科学基金管理工作会议在北京召开。会议回顾总结2023年科学基金资助与管理工作，介绍新时期 癌症是人类健康的主要威胁之一。近年来，一种新的靶向精准放射治疗手段——硼中子俘获治疗技术（BNCT）快速发展，对于复发 12月16日，国家教育宏观政策论坛2023年会暨上海教育督导论坛在华东师范大学举行。华东师范大学党委书记、国家教育宏 想象一下，在野外调查时，从森林或公园沿着小径行走时，需要走多远才能遇到一个新物种？从生态采样的角度来看，新种就是同一 “超高清双频IVUS系统于12月12日在西安交通大学第一附属医院由心血管病院院长袁祖贻团队成功完成首例冠脉介入手术（PCI）患 。本文链接：八英寸SOI/铌酸锂异质集成技术新进展http://www.sushuapos.com/show-11-3834-0.html
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