1月17日,记者从中国科学技术大学获悉,该校光电子科学与技术安徽省重点实验室微纳光学与技术课题组教授王沛和副教授鲁拥华设计了一种光学超表面,并用该表面将二维平面的位移信息映射为双通道偏光干涉的光强变化,实现了平面内任意移动轨迹的大量程、高精度非接触感测。相关研究成果日前在线发表于《科学进展》。
纳米级长度和位移测量,是光学精密测量领域的重要基础研究课题,在半导体叠对误差测量、精密对准与跟踪等方面具有关键作用。传统的光学干涉仪虽然可以实现纳米及亚纳米的测量精度,但系统复杂、易受环境干扰。近年来,王沛、鲁拥华课题组基于微纳结构光场调控技术发展出一些位移感测技术,实现了亚纳米测量精度。但是这些一维位移测量技术在跟踪面内移动的应用中需要克服装配误差,限制了测量的稳定性和可靠性。
为此,该课题组进一步提出了一种基于超表面光场调控的二维位移精密测量新技术。研究人员设计了一种超表面,不仅可以实现二维的光学衍射,且能够同时定制每个衍射级次光场的偏振态,从而利用不同衍射级次组合的双通道偏光干涉,同时记录二维平面内的任意位移。通过相位解算算法,研究人员能从双通道偏光干涉光强中获得高精度、大量程的二维位移信息。实验证明,该位移测量技术的精度可以达到0.3纳米,测量量程达到200微米以上。
研究人员介绍,该技术能够同时测得二维位移信息,可有效被用于跟踪二维平面内的任意复杂运动。最新研究拓展了光学超表面的应用领域,提升了精密位移光学传感技术的可靠性和集成度,展示了超表面光场调控能力对传统光学技术的赋能作用。
1月17日,记者从中国科学技术大学获悉,该校光电子科学与技术安徽省重点实验室微纳光学与技术课题组教授王沛和副教授鲁拥华设计了一种光学超表面,并用该表面将二维平面的位移信息映射为双通道偏光干涉的光强变化,实现了平面内任意移动轨迹的大量程、高精度非接触感测。相关研究成果日前在线发表于《科学进展》。
纳米级长度和位移测量,是光学精密测量领域的重要基础研究课题,在半导体叠对误差测量、精密对准与跟踪等方面具有关键作用。传统的光学干涉仪虽然可以实现纳米及亚纳米的测量精度,但系统复杂、易受环境干扰。近年来,王沛、鲁拥华课题组基于微纳结构光场调控技术发展出一些位移感测技术,实现了亚纳米测量精度。但是这些一维位移测量技术在跟踪面内移动的应用中需要克服装配误差,限制了测量的稳定性和可靠性。
为此,该课题组进一步提出了一种基于超表面光场调控的二维位移精密测量新技术。研究人员设计了一种超表面,不仅可以实现二维的光学衍射,且能够同时定制每个衍射级次光场的偏振态,从而利用不同衍射级次组合的双通道偏光干涉,同时记录二维平面内的任意位移。通过相位解算算法,研究人员能从双通道偏光干涉光强中获得高精度、大量程的二维位移信息。实验证明,该位移测量技术的精度可以达到0.3纳米,测量量程达到200微米以上。
研究人员介绍,该技术能够同时测得二维位移信息,可有效被用于跟踪二维平面内的任意复杂运动。最新研究拓展了光学超表面的应用领域,提升了精密位移光学传感技术的可靠性和集成度,展示了超表面光场调控能力对传统光学技术的赋能作用。
记者3月18日从安徽明天氢能科技股份有限公司(以下简称明天氢能)获悉,国家电网近日向明天氢能及董事长王朝云分别授予科学技术进步奖一等奖,获奖项目为“大规模氢电一体化站关键技术、核心装备及 日前,盛世盈创氢能科技(陕西)有限公司(以下简称盛世盈创)与协氢(上海)新能源科技有限公司宣布达成战略合作,共同推进风冷氢燃料电池电堆全自动化生产线(以下简称风冷堆)的研发与生产。双方协议,将建设目 近年来,电动自行车以便利性受到大众青睐,但相关起火事故威胁着居民的生命财产安全。据国家消防救援局发布的统计数据,2023年全国共接报电动自行车火灾2.1万起,比2022年增加17.4%。电动自行车起火 英伟达AI风暴席卷医疗行业 “AI制药”是风口还是泡沫? 季媛媛 全球医疗健康行业正刮起最强AI风暴。 当地时间3月18日,全球瞩目的顶级AI盛会――英伟达2024年GPU技术大会(NVIDIA GTC 2024)正式开幕。据相关 今年3月23日是第64个世界气象日,主题是“气候行动最前线”。面对愈加频繁的极端天气和全球变暖等气候危机,减缓气候变化已刻不容缓。发展新能源是应对气候变化的重要举措之一,而气象服务对于新 3月25日6时左右将迎来水星东大距。这是水星今年第二次大距、首次东大距,也是公众尝试观测水星的好机会。届时,水星位于太阳东边,与太阳张角约为18.7度。以北京地区为例,在日落时,水星地平高度约为 。本文链接:我学者用超表面实现平面内纳米位移光学感测http://www.sushuapos.com/show-2-2315-0.html
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