高性能微机电系统红外光源作为非色散红外气体传感器的核心部件，具有重要应用价值。现有微机电系统红外光源存在辐射区温度均匀性差、功耗高等问题。
近日，中国科学院微电子研究所研究团队提出了基于8英寸晶圆级工艺的单片集成红外光源结构，通过引入Al纳米颗粒修饰的纳米森林作为高发射率辐射层，提升了器件在目标波长的红外发射能力。团队结合微加热器几何形状的迭代优化设计，解决了传统光源温度分布不均问题，在降低功耗密度的同时提高了运行效率 。该红外光源已应用于集成化非色散红外检测系统，在温室环境下实现了对植物光合与呼吸作用致气体浓度波动的实时监测，为智慧农业提供了低功耗的新型硬件支撑。
相关研究成果在线发表在《能源与环境材料》（Energy & Environmental Materials）上。研究工作得到国家自然科学基金、国家重点研发计划、中国科学院相关项目等的支持。
基于8英寸晶圆级工艺的红外光源及其纳米森林辐射层材料
薛定谔提出生命以负熵为生。普里高津提出耗散结构理论，进一步阐释了能量在有序结构演化中的作用。生物组装体展现出这种能量耗散的特性。当前，科学家借助化学手段，构建了多种耗散组装体系，获得了瞬态结构和性质。而 11月13日，教育部召开学习贯彻落实习近平总书记给中国国际大学生创新大赛参赛学生代表重要回信精神座谈会。教育部党组书记、部长怀进鹏出席会议并讲话。教育部党组成员、副部长吴岩主持会议。 怀进鹏指出，习近平 今年以来，该校深入推进“一校一品”建设，以排球运动促进学校“五育”融合发展，通过社团活动、班级联赛等形式，让学生们感受排球运动魅力，培养团队意识和拼搏精神，促进体质健康发展。（中国教育报-中 中国教育报-中国教育新闻网讯（记者 刘玉）日前，以“筑梦青春志在四方，规划启航职引未来”为主题的辽宁省第二届大学生职业规划大赛正式拉开序幕。大赛旨在加强高校生涯教育和就业指导，增强大学生职 2021年，广西壮族自治区柳州市绘就教育共同体建设的画卷落下第一笔。三年来，柳州积极推动城市优质教育资源辐射乡村和薄弱地区常态化。2024年，柳州累计建成教育共同体52个，覆盖中小学、幼儿园共17 中国教育报-中国教育新闻网讯（记者 任朝霞）11月11日，上海高校法治文化育人联盟“法萌”宣讲团正式成立，18家上海高校法治文化育人联盟成员单位代表出席成立仪式，“法萌百讲”第一课正式开讲。今年 。本文链接：高性能微机电系统红外光源研究取得进展http://www.sushuapos.com/show-12-2540-0.html
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