近日,记者从维信诺公司获悉,该公司在显示技术领域取得重大突破,在业界率先采用固态激光退火(SLA)技术,成功实现非晶硅薄膜向多晶硅薄膜的转化,并实现量产产品成功点亮,预计在今年2月底实现SLA技术的大规模量产。此举标志着固态激光退火技术首次在AMOLED(有源驱动有机发光二极管)量产线上的应用,为行业激光退火技术的革新及产业升级注入新的动力。
在AMOLED制造工艺中,激光退火工艺占据着举足轻重的地位,其稳定性直接影响产品的最终显示效果。而在激光退火工艺里,激光的稳定性更是核心要素。过去近20年,行业内广泛采用的准分子激光退火(ELA)技术,虽然推动了AMOLED的发展,但其工艺窗口较小且稳定性欠佳,轻微的工艺波动就会造成产品显示品质变差,极大增加了工艺控制的难度。当前为保证产品品质,ELA设备的激光器需频繁更换特殊气体与配套材料备件来保障工艺的稳定性。这不仅导致生产成本高昂,设备稼动率也难以提升,严重制约了工厂高效发展。
作为国内AMOLED领域的领军企业,维信诺始终将推动产业技术升级、引领显示行业向高质量发展为己任。维信诺昆山工厂率先对固体激光器技术(SLA)进行改进,成功实现了行业从无到有的突破。
据介绍,维信诺联合AP SYSTEMS公司经过一年多的严格设计和验证,深度挖掘了SLA技术的巨大潜力,并确认SLA技术相比ELA技术具有显著优势:SLA技术的能量变异系数(<0.1%)远优于ELA技术(>0.2%),激光脉冲能量稳定性大幅提升,有效改善了屏体显示Mura(色差)现象,显著提升显示质量;SLA技术无需使用特殊气体,进而省去了更换配套材料和备件的高昂费用,运营成本大幅降低; SLA技术除了激光头外,几乎无需日常维护,与需要频繁更换特殊气体的ELA技术相比,设备稼动率可大幅提高。同时,SLA能够在更高频率下工作,预计单台设备产能大幅提升。
据悉,维信诺昆山工厂预计在今年2月底实现SLA技术的大规模量产。基于SLA技术量产的成功,维信诺将继续引领OLED(有机发光二极管)制造领域的创新,确保实现更大尺寸屏幕、更高性能以及更佳的用户体验。
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